LiNbO3 tabanlı şiddet kipleyicisi tasarımı, üretimi ve karakterizasyonu

---

Tezin Türü: Yüksek Lisans

Tezin Yürütüldüğü Kurum: Ankara Üniversitesi, Fen Bilimleri Enstitüsü, FİZİK MÜHENDİSLİĞİ ANABİLİM DALI, Türkiye

Tezin Onay Tarihi: 2014

Tezin Dili: Türkçe

Öğrenci: SEVAL DÖNERTAŞ

Danışman: BARIŞ AKAOĞLU

Açık Arşiv Koleksiyonu: AVESİS Açık Erişim Koleksiyonu

Özet:

Bu tezde, LiNbO3 (Lityum Niyobat) tabanlı şiddet kipleyicisi tasarımı üretimi ve karakterizasyonu yapılmıştır. Öncelikle, dalgakılavuzu ve elektrot maske tasarımı yapılmıştır. Ardından, şiddet kipleyicisi üretimi kapsamında LiNbO3 alttaş üzerine Ti (Titanyum) malzemesi kaplanmıştır. Sonrasında, LiNbO3 yonga fotorezist ile kaplanmıştır. Tasarlanan maske yapısı mor ötesi ışık ile yonga üzerine kopyalanmıştır. Belirli süre ve sıcaklıkta Ti difüzyonu gerçekleştirilmiştir. Bir sonraki aşamada elektrot litografisi yapılmıştır. Yonga üç parçaya kesilmiştir. Kesilen parçalar tıraşlanıp parlatılmıştır. Üç parça kesim cihazı ile yedi parçaya kesilmiştir. Ti derinliğine bağlı kırılma indisi değişim profili analiz edilmiştir. Kesim sonrası elde edilen optik aygıtların fiber kuyruğu ile optik karakterizasyonu yapılmıştır. Aygıtların Au (Altın) ile elektriksel bağlantısı yapılmıştır. Aygıtların birinci kolu ve ikinci kolu iki adet fiber kuyruğu ile bütünlenmiştir. DC (direct current) seviyede elektriksel karakterizasyon kapsamında, frekanstan bağımsız gerilim ölçümleri yapılmıştır ve Vπ, V2π gerilimleri saptanmıştır ve son olarak, AC (alternative current) seviyede 1 GHz (Giga Hertz)'e kadar frekansa bağlı ölçümler yapılmıştır. Ayrıca, frekansa bağlı gerilim grafiği çizdirilerek aygıtın 1 GHz'a kadar çalıştığı doğrulanmıştır.